研創(chuàng)園激光芯片公公技術(shù)服務(wù)平臺(tái)位于南京市浦口區(qū)西華北路1 號(hào)，項(xiàng)目建筑面積6309.79m2，其中萬(wàn)級(jí)區(qū)1535m2，千級(jí)區(qū) 1134m2，百級(jí)區(qū)21m2。配電房、機(jī)組間、特氣間、純水間、廢 水間等輔助功能間3234m2。合同額3299萬(wàn)，工期100天。 項(xiàng)目包含：潔凈系統(tǒng)、消防、PCW、CDA、PV、有機(jī)排風(fēng)、無(wú)機(jī) 排風(fēng)、熱排風(fēng)、純水系統(tǒng)、廢水系統(tǒng)、冷熱源系統(tǒng)、DCC系統(tǒng)、 弱電系統(tǒng)。
萬(wàn)級(jí)區(qū)采用的是AHU+高效箱的方式，溫濕度要求為：22±1℃，50±5%RH。
千級(jí)區(qū)采用的是MAU+DCC+FFU的方式，溫濕度要求為：22±0.5℃，45±3%RH，光刻間溫濕度要求為：22±0.5℃，
40±3%RH，每小時(shí)變化率不高于±0.1℃。
